инфраструктура, обеспечивающая полный цикл проектирования и производства как микроэлектроники и микросистемной техники (МЭМС-сенсоров...: Многофункциональный комплекс разработки и производства изделий микроэлектроники Дизайн-центр проектирования СБИС. Полный цикл разработки...